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符合SEMI F47电压跌落公差要求


用于半导体制造设备的电源一般要求符合SEMI F47-0706电压凹陷公差标准。这些标准详细说明了电源在单相交流输入电压水平暂时下降时必须继续运行的条件。(SEMI F47不适用于三相输入电源。)

如下表所示,SEMI F47标准定义了三种交流电压退化程度,以及电源必须继续运行的持续时间:

  • 80%跌落(AC等级减少20%):1秒
  • 70%跌落(AC等级减少30%):0.5秒
  • 50%跌落(AC等级降低50%):0.2秒

规格:半F47-0706,修订2006

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电源欠压暂降条件下的持续运行符合不同的性能水平,从全性能运行到输出损失。对于所谓的“高线”系统,接受100-240 VAC“通用”交流输入范围的电源通常会在所有三种电压凹陷条件下继续提供全性能运行。最常见的单相高压是208、230和240伏交流电。

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德赢体育网站Astrodyne TDI的ASM系列通用输入电源可以满足几乎任何高线半导体制造设备的需求。输出功率从30瓦到550瓦,产品组合可以支持更高的功率水平,每个系列都经过优化,为其额定功率水平提供最小的足迹。ASM产品系列提供多种连接器和外壳选项,并在SEMI F47高压系统电压凹陷标准下提供全性能运行。